摘要： 超凈工作臺儀器校準流程： 潔凈工作臺泄漏檢測 發(fā)送到高?？諝膺^(guò)濾器上游側，使用采樣器對高效過(guò)濾器下游約2.5cm處的檢漏儀進(jìn)行檢查掃描，檢查速度小于等于每秒5cm。當下游濃度與上游濃度之比大于0.01%時(shí)

超凈工作臺儀器校準流程：

潔凈工作臺泄漏檢測

發(fā)送到高?？諝膺^(guò)濾器上游側，使用采樣器對高效過(guò)濾器下游約2.5cm處的檢漏儀進(jìn)行檢查掃描，檢查速度小于等于每秒5cm。當下游濃度與上游濃度之比大于0.01%時(shí)，認為潔凈工作臺存在明顯泄漏，應停止泄漏。

潔凈工作臺的清潔度

采樣時(shí)可使用28.3/min的塵埃粒子計數器或小流量塵埃粒子計數器，但采樣量應小于1升。當進(jìn)氣口的氣溶膠濃度達到穩定狀態(tài)時(shí)，在距主過(guò)濾器或整流柵出口250毫米處的平行段中心連續測試5次，取平均值。

潔凈工作臺風(fēng)速

在主過(guò)濾器或擴散器下游10cm的平面上，將平面區域分成至少12個(gè)相等的區域。每個(gè)區域的中心為風(fēng)速測試點(diǎn)，每個(gè)測試點(diǎn)之間的距離不應大于25cm。用熱球風(fēng)速計或熱敏電阻風(fēng)速計測量各點(diǎn)風(fēng)速，取平均值作為截面風(fēng)速。

潔凈工作臺噪音

噪聲環(huán)境是在相對開(kāi)闊、反射強烈的室內地面上測量的。如果設備操作區開(kāi)口處有擋板，應全部打開(kāi)，并特別注意避免氣流引起的風(fēng)壓和振動(dòng)的影響。噪聲測量點(diǎn)應布置在工作臺中心，距離工作臺前緣20cm，高度110cm，共四次，取平均值作為測量結果。

潔凈工作臺振動(dòng)

潔凈的工作臺應放在震動(dòng)小的地面上，避免周?chē)h(huán)境的影響。在正常操作環(huán)境下，工作臺會(huì )將振動(dòng)分析儀的拾振裝置放置在操作面的幾何中心，測量x、y、z三個(gè)軸的總振動(dòng)祝福值。

潔凈工作臺照明

正負1.5%以?xún)龋?00 kV范圍的頻響誤差比較大，測量重復性比較低。